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接確式對(duì)準(zhǔn)曝光機(jī)

愛(ài)銳精密科技(大連)有限公司提供進(jìn)口小型接確式對(duì)準(zhǔn)曝光機(jī) MASK ALIGNER

對(duì)準(zhǔn)曝光機(jī)- MaskAligner

■特點(diǎn)?

■手動(dòng)操作、接觸式對(duì)準(zhǔn)曝光機(jī)。?
■依照不同需求以及成本考量有準(zhǔn)直儀型多面鏡型整合(積算器)型三種曝光光源。
■有可對(duì)應(yīng)5×5mm~100×100mm以及Φ1 inch~?6 inch的基板的各類機(jī)種。?
■Mask Holder載臺(tái)的更換作業(yè)簡(jiǎn)單易行,可在1分鐘內(nèi)完成,適合用于研究開(kāi)發(fā)。?
■對(duì)準(zhǔn)顯微鏡的對(duì)物鏡可對(duì)應(yīng)高對(duì)準(zhǔn)精度或厚膜等用途,并且有4×、10×、20×三種。

■共通規(guī)格

接觸方法

軟性接觸/ 硬性接觸(部分選配)

對(duì)準(zhǔn)精度

使用對(duì)物鏡20×?xí)r<1.2μm(M-1S除外)

對(duì)準(zhǔn)顯微鏡

雙視野顯微鏡對(duì)物鏡間隔18~60mm?
(M-1S除外)

曝光波長(zhǎng)

多頻率(h.i.g線)

MA系列 半自動(dòng)型,用于IC少量生產(chǎn),MEMS等用途

MA-10 低成本,標(biāo)準(zhǔn)型

MA-10 低成本 標(biāo)準(zhǔn)型 規(guī)格

基板尺寸

MAXΦ4 inch

Mask尺寸

MAX 5×5 inch

UV燈箱

準(zhǔn)直儀型

照度

?>8mW/cm2

照度均一性

<±8.5%

硬性接觸

對(duì)準(zhǔn)點(diǎn)間隔測(cè)長(zhǎng)功能

不可裝配

?計(jì)光量計(jì)

不可裝配

防震臺(tái)

選配

外形尺寸(mm)

?700W×570H×650D


具體需求請(qǐng)向我司咨詢。

 

 

 

 

 

 

 

 



KEYWORDS:小型對(duì)準(zhǔn)式曝光機(jī),半導(dǎo)體制造小型接確式曝光機(jī),MEMS用曝光機(jī)

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