愛銳精密科技（大連）有限公司提供進口半導體工業(yè)用旋轉干燥設備，SPIN DRYER，有需求請向我司咨詢。

SEMICONDUCTOR SPIN DRYER（SPIN RINSE DRYER）

 

產(chǎn)品主要用途：
?半導體晶圓類產(chǎn)品的噴水清洗及旋轉甩干

?晶圓表面的化學品及雜質的去除

產(chǎn)品特點：

?小型化，緊湊化設計，占用面積及空間更小，特別是立式機，占地更小。

?設計簡單，操作更容易。

?產(chǎn)品線豐富，可以處理2-12寸的所有尺寸晶圓或基板。

?一機可以處理多個尺寸，通常一機追加夾具后可以處理兩到三個尺寸的晶圓。

?可以根據(jù)客戶的處理要求做夾具及腔體的更改設計。

?內部結構部件采用高耐腐蝕性SUS316材質，耐久性更好，對被清洗材料污染更小。

?可以自行設定清洗工藝步驟。

?臥式機可以高效率工作，一次處理多盒

 

產(chǎn)品類型：

立式旋轉干燥設備（vertical SPIN DRYER)	臥式旋轉干燥設備（horizontal SPIN DRYER)

適用處理產(chǎn)品類型：

硅材質晶圓	玻璃石英類基板	化合物類基板
半導體類備件	MEMS類	MEMS類

 

 

立式機的主要特點：

內部腔體采用SUS316材質	可以根據(jù)客戶處理要求定制夾具
追加夾具一機可以處理2寸	同時也可以處理4寸及以上尺寸

 

 

臥式機的主要特點：

高效處理可以做在線機臺	第次可以同時處理2-6盒晶圓

 

 

 

 

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